涡旋无油真空泵的优点及其能给用户解决的问题

涡旋无油真空泵的优点及其能给用户解决的问题：　

1 涡旋无油真空泵性能优越　

涡旋真空泵的主要优点是间隙小、泄漏少，具有较高的压缩比，在较宽的压力范围内有稳定的抽速，工作压力范围宽；由于压缩腔容积的变化是连续的 ，因而驱动扭矩变化小，功率变化小，振动噪声低，可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。　　

2 涡旋无油真空泵解决了污染与振动等基础、共性问题

由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响 ， 如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油阀题。真空镀膜设备的镀膜工艺中，在20~ 40Pa 真空条件下镀膜时，如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染，影响成膜量。半导体晶片制造工艺当中使用油泵与使用干泵相比，成品率存在很大的差距，并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染。科学仪器行业尤其是在分析试仪器行业，采用油泵对测试结果将造成不良影响。大型同步辐射光束线上采用涡旋无油真空泵作为前级真空泵的作用也相当明显。另外涡旋无油真空泵消除了普通油泵的漏油给用户带来的环境污染与烦恼。

3 涡旋无油真空泵使系统制造与运行成本降低　

为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染，需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子；系统运行过程当中还需要定期清洗除油；有的需要定期更换真空泵油。采用好凯德涡旋无油真空泵：

第一不需要加冷阱之类捕油机构、

第二不需要换真空泵油、

第三振动更小、运行更平稳、

第四能耗降低、

第五重量更轻、

第六突破了油泵使用范围的限制，

上述优点使好凯德涡旋无油真空泵成为普通旋片油真空泵的更新换代产品。

涡旋无油真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有运行平稳、噪音低、节省能源、重量轻、体积小的特点并已经被广泛应用到下述科学研究与生产领域：

①半导体行业 —— 薄膜制备设备、半导体器件封装设备；

②真空冶金行业 —— 真空炉、纳米材料制备设备 、真空检测设备；

③科学仪器行业 —— 同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器；

④医疗设备 —— 牙科仪器、透析机；

⑤生物制品行业 —— 材料提纯、药品制备；

⑥包装行业 —— 食品、药品、生物制品等包装设备。