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SFJ-231D型半导体专用氦质谱检漏仪

德国原装分子泵,干式真空泵,双铱带离子源

独特的气路设计,较低的颗粒物干扰

自保护功能,防止本底被污染

自动抽空压力和时间设定,检漏效率高

移动式推车,较低的移动噪音

带故障提示和报警功能

可选无线遥控功能


产品介绍

技术指标单位SFJ-231D型
最小可检漏率(真空模式)Pa·m3/s5×10-13
最小可检漏率(吸枪模式)Pa·m3/s1×10-8
检漏口压力Pa1500/200/40
粗抽能力m3/h10
检漏口规格"DN25 ISO-KF
启动时间min≤2
接口"RS-232/485 USB*2
输入/输出接口"数字和模拟I/O,继电器
尺寸mm645*678*965
重量kg75
电压V220±10%,50Hz
最大功率W1000
语言"中文、英文
温度10-40

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